Fraunhofer HHI elige el sistema Sputter de Veeco

El Instituto de Investigación de Telecomunicaciones Ópticas ordena un sistema de pulverización catódica por haz de iones para crear revestimientos de facetas láser y dispositivos microópticos.
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HHI utilizará la tecnología IBS de Veeco para crear recubrimientos de facetas láser.

Instrumentos Veeco ha anunciado que ha enviado su sistema Spector Ion Beam Sputtering (IBS) y el sistema de monitorización óptica Sirius al Instituto Fraunhofer para Telecomunicaciones(HHI).
El instituto, con sede en Berlín, Alemania, dice que utilizará esta tecnología IBS "para desarrollar y producir recubrimientos de facetas láser y otros dispositivos microópticos".
“El desarrollo de sofisticados dispositivos microópticos requiere una tecnología excepcional de pulverización catódica”, comentó Greta Ropers, directora del grupo de backend y empaque de Fraunhofer.
"El sistema Spector de Veeco, junto con Sirius OMS, garantizará que estemos desarrollando y produciendo dispositivos de clase mundial con el mayor rendimiento y repetibilidad de procesos en una plataforma automatizada y establecida".

Películas delgadas ópticas
La plataforma Spector genera películas delgadas ópticas de alta calidad con niveles mejorados de productividad y rendimiento, según los clientes. A diferencia de los recubrimientos evaporativos, las películas delgadas pulverizadas por haz de iones se depositan a altas energías, lo que brinda un control de espesor excepcional y bajas densidades de defectos para aplicaciones de recubrimiento por láser. Sirius OMS mejora la capacidad de la plataforma Spector al acoplar el control de monitoreo de banda ancha con la estabilidad de las películas depositadas por haz de iones .
“El líder mundial de Fraunhofer HHI en el desarrollo de recubrimientos de facetas láser y dispositivos micro-ópticos de próxima generación”, dijo el Dr. Adrian Devasahayam, vicepresidente y gerente general del negocio de Deposición y Etch (AD&E) avanzadas de Veeco. "El sistema Spector proporciona una calidad y una flexibilidad incomparables para el recubrimiento óptico de precisión de películas delgadas y acelerará sus objetivos de desarrollo".
La financiación de este proyecto fue concedida por Forschungsfabrik Mikroelektronik, una fábrica de investigación de ubicaciones cruzadas para microelectrónica y nanoelectrónica, que compromete a once institutos dentro del Grupo Fraunhofer junto con Innovations for High Performance Microelectronics y el Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. El sistema se vendió en cooperación con el socio de canal europeo de Veeco,Veonis Technologies.


Hora de publicación: Oct-31-2019